| 摘要 |
<p><과제> 서로 교차하는 스크라이브(scribe) 예정 라인을 따라 크로스 스크라이브(cross scribe)할 때에, 안정하게 스크라이브 홈을 형성할 수 있고, 게다가 후공정에서의 각부(角部)의 연마 가공을 용이하게 한다. <해결 수단> 이 스크라이브 방법은, 취성(脆性) 재료 기판(基板)의 서로 교차하는 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브하는 방법이고, 제1 공정과 제2 공정을 포함한다. 제1 공정은, 교차하는 스크라이브 예정 라인의 교점에, 기판을 관통하고, 또한 스크라이브 예정 라인을 따라 연장되는 에지(edge)를 가지는 관통 구멍을 형성한다. 제2 공정은, 관통 구멍을 기점(起點)으로서 스크라이브 예정 라인을 따라 균열을 진전시킨다.</p> |
