| 摘要 |
<p>유사한 구조 엘리먼트들을 분류하는 CD 계측 시스템 및 방법이 제공된다. 상기 방법은: a) 반도체 구조물의 이미지를 획득하는 단계; b) 제1 그룹에 속하는 충분한 양의 구조 엘리먼트들 및 유사한 엘리먼트들의 제2 그룹에 속하는 충분한 양의 구조 엘리먼트들을 식별하는 단계―각각의 그룹은 상이한 제작 스테이지로부터 발생함 ―; c) 제1 그룹 및 제2 그룹의 충분한 양의 엘리먼트들 내의 각각의 주어진 구조 엘리먼트에 대하여, 개별적인 제작 스테이지를 표시하는 하나 이상의 피쳐들을 평가하는 단계―개별적인 피쳐들의 값들은 상기 획득된 이미지로부터 유도됨―; 및 제작 스테이지들, 및 상기 제작 스테이지들로부터 개별적으로 발생하는, 유사한 구조 엘리먼트들의 상기 제1 그룹 및 상기 제2 그룹 내의 구조 엘리먼트들에 관련된 분류 결정을 위해 상기 평가의 결과들을 사용하는 단계를 포함한다.</p> |
