| 摘要 |
<p>본 발명은 바이오 센서용, 광학계 편광자용, LCD용 휘도증가 및 편광자 등에 적용 될 수 있는 경사 증착에 의한 나노 금속 선격자 보호코팅 및 그의 보호 코팅 방법을 제공하기 위한 것으로, 기판, UV 레진, 금속 리브에 의해 나노 사이즈로 이루어진 선격자 기판을 형성하는 선격자 기판 형성 단계와; 상기 선격자 기판에서 경사각 형성에 의한 경사증착으로 에어 갭을 형성하는 경사 증착 단계와; 상기 경사 증착 단계 후 평탄 보호 코팅을 형성하는 보호 코팅 단계;를 포함하여 구성함으로서, 경사 증착을 통해 나노 금속 선격자의 Al Rib 과 Al Rib 사이에 Air Gap(공기층 n=1)을 유지하여 광학적 변화를 최소화 하는 동시에 추가적인 보호코팅을 형성하여 외부의 물리적/화학적 작용에 의한 손상으로부터 나노 금속 선격자를 보호하고 또한 광학적 특성변화를 최소한으로 하여 나노 금속 선격자로 제작된 센서, 광학 및 디스플레이(Display) 분야의 모든 소자 및 부품을 상업적으로 제한되지 않고 넓은 분야에서 사용 되어 질 수 있도록 내구성 및 광특성을 확보할 수 있게 되는 것이다.</p> |
