发明名称 流场塑形器
摘要 一种流场塑形器,包括一两外壳及一支架,两外壳分别具有内表面及外表面,两外壳的内表面彼此相对且两外壳的外形大致成对称,两内表面皆具有一凹槽并可彼此连通形成一空间,其中一个凹槽进一步有一贯通外壳的气孔,支架是位于两外壳之间且分别和两外壳的内表面相接,支架的厚度会使得两外壳之间形成一间隙,间隙是和两凹槽形成的空间连通,当一气体由气孔通入两凹槽所形成的空间后,气体接着会通过间隙并形成气体屏障。
申请公布号 TWM491249 申请公布日期 2014.12.01
申请号 TW103213205 申请日期 2014.07.25
申请人 古震维 新竹县宝山乡竹园路88巷9号 发明人 古震维;胡石政;林迪
分类号 H01L21/673 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人 周威君 新竹县竹东镇中兴路4段195号53馆219室
主权项 【第1项】一种流场塑形器,包括:一第一外壳,具有一内表面及一与该内表面相对的外表面,该内表面有复数个由该内表面贯穿至该外表面的锁固孔,该内表面进一步有一凹槽,该凹槽位于该些锁固孔的下方,且该凹槽中有复数个贯穿至该外表面的气孔;一第二外壳,具有一内表面及一与该内表面相对的外表面,该内表面有复数个由该内表面贯穿至该外表面的锁固孔,该内表面进一步有一凹槽及一整流槽,该凹槽位于该些锁固孔的下方,该整流槽又位于该凹槽的下方,其中,该第二外壳的该内表面是与该第一外壳的该内表面相对,且该第二外壳的每一该些锁固孔是与该第一外壳的该些锁固孔的其中之一相对应,该第二外壳的该凹槽是与该第一外壳的该凹槽相对应;及一支架,位于该第一外壳及该第二外壳之间,且分别和该第一外壳的该内表面及该第二外壳的该内表面相接,该支架上并有复数个穿孔,每一该些穿孔皆和该第一外壳的该些锁固孔的其中之一、及该第二外壳的该些锁固孔的其中之一相对应;其中,该支架使得该第一外壳及该第二外壳之间形成一间隙,该间隙的宽度和该支架的厚度相同。
地址 新竹县宝山乡竹园路88巷9号