发明名称 射频散射参数量测校正方法
摘要 一种射频散射参数量测校正方法,系可进行自我校正,而该校正方法系使用了一传输线段校正器、一串联元件校正器、一并联元件校正器及一待测物量测器,其中该串联元件校正器、并联元件校正器之传输线与该待测物量测器之传输线长度相同,以使该串联元件校正器、并联元件校正器与该待测物量测器有相同的误差盒,并经由校正方法求出误差盒的散射参数矩阵后,可在该待测物量测器上连接待测电子元件,并将其未经校正的量测数据进行运算,以求出待测物之射频散射参数。
申请公布号 TWI463146 申请公布日期 2014.12.01
申请号 TW099138690 申请日期 2010.11.10
申请人 元智大学 桃园县中坜市远东路135号 发明人 黄建彰
分类号 G01R27/02;G01R35/00;H01L21/66 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人 蔡嘉慧 台北市大安区忠孝东路3段217巷6弄8号4楼
主权项 一种射频散射参数量测校正方法,系使用了三个校正器、一个待测物量测器及具有五个变数的运算式,其中该三个校正器系为一传输线段校正器、一串联元件校正器及一并联元件校正器,其中该串联元件校正器、并联元件校正器之传输线与该待测物量测器之传输线长度相同,以使该串联元件校正器、并联元件校正器与该待测物量测器有相同的误差盒、而该五个变数系为t,z,y,ztp,ysp,其中t为eγl、γ为传输线之传播常数、l为该传输线段校正器之传输线段长度、z为串联元件校正器标准化阻抗、y为并联元件校正器标准化导纳、ztp,ysp为高频寄生效应元件,并能够由该校正方法求出误差盒的散射参数矩阵,使该待测物量测器连接一待测电子元件后,即能够对未经校正的量测数据进行运算,以求出该待测物之射频散射参数。
地址 桃园县中坜市远东路135号