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发明名称
真空镀膜处理之支撑载具
摘要
本发明之支撑载具至少包含有:一承载框体、二固定压条、弹性压掣组件以及复数固定件,该承载框体具有两两相对应之第一框边及第二框边,该些固定压条系利用固定件固定于该些第一框边上,用以将待镀膜膜片固定于该承载框体,而该弹性压掣组件系相对设置于该些第一框边与固定压条之间,其设有至少一凹槽以及位于该凹槽内之弹性压条,利用该弹性压掣组件于镀膜时,提供该待镀膜膜片受热变形之弹性空间,以维持该待镀膜膜片之平整性。
申请公布号
TW201444997
申请公布日期
2014.12.01
申请号
TW102118266
申请日期
2013.05.23
申请人
冠华科技股份有限公司
发明人
李执铎;翁健闵;周世良;朱子文
分类号
C23C14/34(2006.01)
主分类号
C23C14/34(2006.01)
代理机构
代理人
主权项
地址
桃园县杨梅市甡甡路695号
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