| 摘要 |
本发明提供一种电浆蒸发装置，其能够将电浆束高精度地引导至蒸发材料。包括电浆蒸发装置之成膜装置(1)具备复数个用于使成膜材料(Ma)蒸发之电浆枪(7)。复数个电浆枪(7)包括在电浆束(P)的射出方向上具有磁力线(G)方向之第1电浆枪(7R)、及在与电浆束(P)的射出方向相反的方向上具有磁力线(G)方向之第2电浆枪(7L)。从与成膜材料(Ma)相对之方向观察时，复数个电浆枪(7)配置成并列设置于真空腔室(10)，并且第2电浆枪(7L)不会排列在相对于第1电浆枪(7R)将射出方向作为前方时的右侧。 |
