发明名称 |
鋶盐及光酸产生剂;SULFONIUM SALT AND PHOTOACID GENERATOR |
摘要 |
本发明提供一种鋶盐以及包含上述鋶盐而成的新的光酸产生剂,上述鋶盐对有机溶剂的溶解性高,特别是对深紫外线(254 nm)以下的波长的光具有高的分解效率。本发明为下述通式(1)所表示的鋶盐以及特征在于含有上述鋶盐的光酸产生剂。;[式(1)中,R 1 表示电子吸引性基;R 2 及R 3 分别独立地表示碳数1~5的烷基、烷氧基、醯基、卤化烷基、卤素原子、羟基、;氰基、或者硝基;p、q分别独立地为0~5的整数;X - 表示一价的抗衡阴离子。] |
申请公布号 |
TW201444790 |
申请公布日期 |
2014.12.01 |
申请号 |
TW103118898 |
申请日期 |
2014.05.30 |
申请人 |
三亚普罗股份有限公司 |
发明人 |
铃木一生;池田卓也;高嶋佑作;古田刚志;小室嘉崇;内海义之;海保贵昭;波戸利明 |
分类号 |
C07C381/12(2006.01);C09K3/00(2006.01) |
主分类号 |
C07C381/12(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>叶璟宗</name><name>郑婷文</name><name>詹富闵</name> |
主权项 |
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地址 |
日本 |