发明名称 一种工作机及其上的真空吸附式承载装置;WORKING MACHINE AND A VACUUM ADSORPTION CARRIER MEANS THEREOF
摘要 本发明主要揭露一种真空吸附式承载装置,其包括一吸附平台、连接该些气室的一抽风系统及多个开关阀。该吸附平台多个独立不相通的气室及多个吸孔,该些吸孔各自连通相对应的气室。每一开关阀系用于阻断或导通其相对应的气室与该抽风系统之间的连通关系。控制该些开关阀的运作,可使该抽风系统只针对被一工作物覆盖到的气室进行抽风,使得该抽风系统所造成的吸力集中作用在该工作物,避免浪费。
申请公布号 TW201444753 申请公布日期 2014.12.01
申请号 TW102117649 申请日期 2013.05.17
申请人 由田新技股份有限公司 发明人 王人杰;张铭杰;萧圣哲;张文政;陈靖文;陈炳坤
分类号 B65G47/91(2006.01);H01L21/673(2006.01) 主分类号 B65G47/91(2006.01)
代理机构 代理人 <name>陈国樟</name>
主权项
地址 新北市中和区连城路268号10楼