| 摘要 |
<p>본 발명의 일 실시예에 따른 TaO계 유전체 나노 분말 제조 방법은, TaO-BO-ZnO-SiO-NaO 계열의 원료 분말을 혼합하여 용융시킨 후 급냉하여 마이크로 분말의 전구체를 제조하는 단계; 상기 전구체를 분말 주입 가스(powder feeding gas)와 함께 전자파 플라즈마 처리장치에 공급하는 단계; 상기 전자파 플라즈마 처리장치에 중앙 가스(central gas) 및 차단 가스(sheath gas)를 공급하는 단계; 상기 전자파 플라즈마 처리장치에서 유도코일에 의해 플라즈마를 발생시키는 단계; 및 상기 전자파 플라즈마 처리장치에 급냉 가스(quenching gas)를 공급하는 단계를 포함한다.</p> |
