发明名称 |
用于奈米导线对准及沈积的方法 |
摘要 |
本发明提供用于奈米导线对准及沈积的方法及系统。充能(例如交流电场)系被使用以对准及将奈米导线与电极相关联。藉由调制该充能,该等奈米导线系耦接至该等电极,使其在后续清洗及乾燥步骤期间保持在原位。本发明亦提供用于将奈米导线从一基板转移至另一基板以制备各种装置基板的方法。本发明亦提供用于监视及控制沈积于特定电极对之奈米导线的数量之方法,以及用于在溶液中操作奈米导线之方法。 |
申请公布号 |
TWI463713 |
申请公布日期 |
2014.12.01 |
申请号 |
TW096142497 |
申请日期 |
2007.11.09 |
申请人 |
南诺西斯股份有限公司 美国;夏普股份有限公司 日本 |
发明人 |
山姆 马丁;段镶锋;藤井胜正;詹姆士 汉米尔顿;岩田裕史;法兰西斯科 里昂;杰佛瑞 米勒;根岸哲;大木宏;杰 帕斯;齐瑞 佩雷拉;保罗 修尔;柴田秋秀;大卫 史坦波;冈田恭伸 |
分类号 |
H01L51/00 |
主分类号 |
H01L51/00 |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
主权项 |
一种用于定位一或多个奈米导线的方法,包含:(a)设置一或多个奈米导线邻近一电极对;(b)藉由在该电极对之间产生一交流(AC)电场而充能该电极对,藉以使该等奈米导线变成与该电极对相关联;及(c)藉由调整该AC电场的频率、藉由调整该AC电场的振幅、或藉由上述两者,而调制该电极对的该充能,藉以使该等奈米导线变成耦接于该电极对上。 |
地址 |
日本 |