| 发明名称 | 中空结构体之制造方法 | ||
| 摘要 | 一种中空结构体之制造方法，藉由下述方式制造出中空结构体：准备包含有凹陷形状的下部结构体， 藉由蒸镀聚合法，而在该下部结构体上沉积出由有机膜所构成的牺牲膜40，以该牺牲膜填埋该凹陷形状，去除该牺牲膜之不需要部分，在已去除不需要部分之该牺牲膜上形成上部结构体50，去除该牺牲膜，而在该下部结构体与该上部结构体之间形成空隙。 | ||
| 申请公布号 | TW201445615 | 申请公布日期 | 2014.12.01 |
| 申请号 | TW103111560 | 申请日期 | 2014.03.27 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 杉田吉平;桥本浩幸 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | H01L21/027(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | <name>周良谋</name><name>周良吉</name> | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 日本 | ||