面板三维瑕疵之线上检测方法

摘要

本发明系关于一种面板三维瑕疵之线上检测方法，其系用于对各式面板在制程中可能产生的瑕疵做自动化检测，以确保其良率；其检测手段在于使用光栅光源对移动中的面板做线扫描，透过结合投射条纹法以及具数条像素之线型影像撷取单元扫描撷取影像的技术，配合二或三条像素分别撷取的影像强度资讯，即取得面板外形轮廓之三维形貌，进而确认其瑕疵是否存在及其高度尺寸。