| 摘要 |
<p>본 발명은 하나의 공정챔버에서 다수의 기판을 처리하여, 생산성을 개선한 기판처리를 위한 클러스터 및 기판이송방법에 관한 것으로, 진공상태에서 기판의 이송공간을 제공하는 이송챔버; 상기 이송챔버와 연결되고, 진공상태에서 기판을 처리하는 공정챔버; 상기 이송챔버와 연결되고, 다수의 기판이 적재된 트레이를 반출입하는 로드락 챔버; 상기 트레이에 상기 다수의 기판을 적재시키고, 상기 트레이를 상기 로드락 챔버에 반출입시키는 기판이송장치;을 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
