电浆掺杂装置及电浆掺杂方法

摘要

提供一种电浆掺杂装置，可对被处理基板进行安定掺杂，并可提高对被处理基板之掺杂量的面内均匀性。于电浆掺杂装置所具备之电浆产生机构包含：微波产生器，用以产生电浆激发用微波；介电质窗，使得微波产生器所产生之微波穿透至处理容器内；以及，辐线狭缝天线，设有复数狭缝，使得微波辐射至介电质窗。控制部系以下述方式进行控制：于被处理基板载置于该保持台上之状态下，藉由气体供给部对处理容器内供给掺杂气体以及电浆激发用气体，利用气体供给部供给掺杂气体以及电浆激发用气体后以电浆产生机构来产生电浆而对被处理基板进行掺杂，使得被处理基板受注入之掺质浓度成为未达1×10 13 atoms/cm 2 。