单晶矽基板碗状凹槽结构之制造方法及具有碗状凹槽结构之单晶矽基板;METHOD FOR MANUFACTURING BOWL SHAPE SURFACE STRUCTURES OF SINGLE-CRYSTALLINE SILICON SUBSTRATES AND A SINGLE-CRYSTALLINE SILICON SUBSTRATE WITH BOWL SHAPE SURFACE STRUCTURES

摘要

本发明为一种单晶矽基板碗状凹槽结构之制造方法及具有碗状凹槽结构之单晶矽基板，制造方法系结合喷砂法在单晶矽基板上表面之全平面产生粗糙化结构，再利用化学溶液蚀刻技术将粗糙化结构蚀刻成为碗状凹槽结构，藉此制造具有抗反射功效之碗状凹槽结构，以有效降低单晶矽基板对光线之反射率，达到极低反射之效果，因此完全不需再镀制抗反射膜，即可使波长为400-800奈米之可见光范围的光线对单晶矽基板之平均反射率降至小于2%，在高效能矽基(silicon based)太阳能电池之制造具有非常大的应用潜力。