低温泵及真空排气方法

摘要

本发明提供一种用于高速排出非冷凝性气体之低温泵、低温板构造及真空排气方法。本发明的低温泵(1)具备：吸附低温板(2)，具备接收非冷凝性气体的入射之前表面(4)和具备非冷凝性气体的吸附区域之背面(5)；以及反射低温板(3)，具备与背面(5)对向之非冷凝性气体的反射面(7)。吸附低温板(2)可以具有多数个从前表面(4)贯穿至背面(5)之贯穿孔(6)。吸附低温板(2)可以具有10%以上70%以下的非冷凝性气体的通过概率。