整合型制程监控方法及其系统

摘要

一种整合型制程监控方法，包含下列步骤：A)接收复数即时制程数据；B)根据一异常事件模型资料库内预先建立之至少一对应于一已知异常事件的时间序列模型，分析该等即时制程数据以预测是否有异常发生；C)若步骤B)的分析结果为：预测有异常发生，则对应产生一异常事件发生讯号，并进行对应的通报；D)若步骤B)的分析结果为：预测无异常发生，则根据该等即时制程数据进行多变数制程分析，以判断是否有一新的异常事件发生；及E)若步骤D)的分析结果为：有新的异常事件发生，则建立对应于该新的异常事件的一时间序列模型。

主权项

一种整合型制程监控方法，利用一处理器配合一异常事件模型资料库来执行，该方法包含下列步骤：A)接收复数即时制程数据；B)对于一已知异常事件，根据对应于该已知异常事件的资料，建立至少一对应于该已知异常事件的时间序列模型，其中对应于该已知异常事件的资料包括多个时间视窗的资料矩阵，步骤(B)包括下列子步骤：b-1)根据该等时间视窗的资料矩阵，并利用主成份分析法得到其等分别对应的复数个分数矩阵，b-2)根据子步骤b-1)得到的该等分数矩阵得到分别与该等时间视窗对应的复数分数矩阵中心，及b-3)根据分别对应于该等时间视窗的该等分数矩阵中心，建立对应于该已知异常事件的该时间序列模型；C)将对应于该已知异常事件的该时间序列模型储存于该异常事件模型资料库；D)根据该异常事件模型资料库内预先建立之对应于该已知异常事件的该时间序列模型，分析该等即时制程数据以预测是否有异常发生；E)若步骤D)的分析结果为：预测有异常发生，则对应产生一异常事件发生讯号，并进行对应的通报；F)若步骤D)的分析结果为：预测无异常发生，则根据该等即时制程数据进行多变数制程分析，以判断是否有一新的异常事件发生；及G)若步骤F)的分析结果为：有新的异常事件发生，则建立对应于该新的异常事件的一时间序列模型，并将对应于该新的异常事件的该时间序列模型新增至该异常事件模型资料库。