多槽式微波装置及其处理系统

摘要

本发明系揭露一种多槽式微波装置，其包含复数个槽式微波共振单元以及至少一微波注入源。槽式微波共振单元界定为槽式共振腔。当至少一微波注入源注入微波于复数个槽式微波共振单元时，复数个槽式微波共振单元系相互共振，以产生具有一相同极化方向之一电磁场。藉此，可将注入源的微波能量大面积化，且具有良好的微波均匀化效果，以达到有效缩短作业时间及均匀高温微波处理的目的。

主权项

一种多槽式微波装置，其包含：复数个槽式微波共振单元，系依一排列结构安排设置，各该复数个槽式微波共振单元系独立界定一槽式共振腔；以及至少一微波注入源，系于该复数个槽式微波共振单元注入一微波，该微波系极化为一特定方向，使该复数个槽式微波共振单元相互共振，以产生具有相同极化方向之一电磁场。