测定装置及方法、图案形成装置、曝光装置及方法、以及元件制造方法

摘要

可藉由测量值之短期稳定性良好之编码器系统(39X1,39X2,39Y1,39Y2,62B,62D,62A,62D)来在不受空气晃动等之影响的情况下以高精度测量移动体(WTB)在平面内的位置资讯，且能藉由面位置测量系统(74,76)来在不受空气晃动之影响的情况下以高精度测量移动体在与XY平面正交之Z轴方向的位置资讯。此时，由于编码器系统及面位置测量系统之两者均可直接测量移动体上面，因此能简易且直接地控制移动体之位置。

主权项

一种测定装置，系测定保持物体在既定平面内移动之移动体的位置资讯，其特征在于，具备：编码器系统，包含设于该移动体之格子部，以及分别对该格子部照射光、并个别接收来自该格子部之反射光的复数个读头，以测量该移动体在该平面内的位置资讯；以及面位置测量系统，包含复数个面位置感测器，该面位置感测器系对该格子部照射光，并接收其反射光来测量该光之照射点中该移动体在与该平面正交之方向的位置资讯，以测量该移动体在与该平面正交之方向及相对该平面之倾斜方向的位置资讯。