六氯二矽烷之回收方法及使用该方法之装置

摘要

本发明关于由四氯矽烷及氢来生产三氯矽烷之际所副生成的六氯二矽烷之回收方法，其具有：使含有已气化的四氯矽烷与氢之原料气体在700～1400℃的范围之温度反应而得到反应生成气体之步骤，将反应生成气体冷却到30～60℃的温度范围而得到含有六氯二矽烷的冷却凝缩液之步骤，及由冷却凝缩液中浓缩回收含有六氯二矽烷的高沸点物之步骤。

主权项

一种六氯二矽烷回收方法，其具有：使含有已气化的四氯矽烷与氢之原料气体在700~1400℃的范围之温度反应而得到反应生成气体之步骤；将反应生成气体冷却到30~60℃的温度范围而得到含有六氯二矽烷的冷却凝缩液之步骤；及由冷却凝缩液中浓缩回收含有六氯二矽烷的高沸点物之步骤，该反应生成气体之冷却系藉由四氯矽烷与三氯矽烷的混合液之冷却液的喷雾来进行。