板厚控制

摘要

本发明揭露一种用于形成板的方法及设备。将熔化物冷却，且在所述熔化物上形成板。此板具有第一厚度。随后使用例如加热器或熔化物使所述板自第一厚度变薄至第二厚度。所述冷却可经组态以允许溶质被截留于板之一区中，且可使此特定板变薄且移除溶质。所述熔化物可为例如矽、矽锗、镓或氮化镓。

主权项

一种形成板之方法，包括：将材料之熔化物冷却；在所述熔化物的表面形成所述材料之板，所述板具有第一厚度；以及在所述形成之后，使所述板自所述第一厚度变薄至第二厚度，所述第二厚度小于所述第一厚度。