Metal(Ⅳ) TETRA-AMIDINATE COMPOUNDS AND THEIR USE IN VAPOR DEPOSITION

摘要

금속(IV) 테트라키스(-다이알킬아미디네이트)가 합성되었고 특징되었다. 예시적인 금속은 하프늄, 지르코늄, 탄탈륨, 니오븀, 텅스텐, 몰리브데늄, 주석 및 우라늄을 포함한다. 이들 화합물은 휘발성이고, 열안정성이 높으며 금속 및 이들의 산화물, 질화물 및 다른 화합물의 증착에 적절하다.