测试操作机与测试载具以及相关测试方法;TEST HANDLER, TEST CARRIER AND TEST METHOD THEREOF

摘要

本发明提供一种测试操作机，系用于积体电路晶片之多种测试，其包含一空间以及一测试载具。空间具有一乾燥状态。测试载具系一高热传导材质所制作，其具有复数个定位结构以分别容置复数个积体电路晶片，测试载具系设置且热接触于空间内一可调温装置上，而可调温装置藉热传导控制测试载具上积体电路晶片之温度。本发明亦提供其相关之测试载具以及相关测试方法。