发明名称 |
半导体元件及其制造方法 |
摘要 |
一种半导体元件,其包括基材、第一元件、第二元件以及层间介电层。基材具有第一区以及第二区。第一元件位于基材之第一区内且包括第一介电层以及金属闸极。第一介电层位于基材上,且金属闸极位于第一介电层上。第二元件位于基材的第二区内且包括第二介电层以及多晶矽层。第二介电层位于基材上。多晶矽层位于第二介电层上,且多晶矽层的高度小于第一元件之金属闸极的高度。层间介电层覆盖住第二元件。 |
申请公布号 |
TWI463638 |
申请公布日期 |
2014.12.01 |
申请号 |
TW098145796 |
申请日期 |
2009.12.30 |
申请人 |
联华电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |
发明人 |
曾坤赐;范政文;曾志裕;梁其翔 |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
郭晓文 台北市文山区罗斯福路6段407号4楼 |
主权项 |
一种半导体元件,包括:一基材,其具有一第一区以及一第二区;一第一元件,位于该基材之该第一区内,该第一元件包括:一第一介电层,位于该基材上;一金属闸极,位于该第一介电层上;以及一第二元件,位于该基材的该第二区内,该第二元件包括:一第二介电层,位于该基材上;一第一多晶矽层,位于该第二介电层上,其中该第一多晶矽层的高度小于该第一元件之该金属闸极的高度;以及一层间介电层,覆盖住该第二元件。 |
地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |