搬送装置

摘要

提供一种小型且不会污染装置环境之搬送装置。第1范畴之本发明的搬送装置1、2，由于其第1、第2旋转轴11、12，系被配置为同心状，因此，装置之设置面积系为小，又，死点脱离机构50系为简单之构造，故厚度系为薄。由于能够使手部20之连结部变薄，因此，能够使将手部20作插入之闸阀的开口变小。其结果，搬送室内之尘埃系变的难以侵入至处理室内。第2范畴之本发明，系为2轴相分离之搬送装置，虽然会有被设置在旋动轴之第1臂的长度，与被设置在第1臂和基板支持体之间的第2臂之长度为相异之情况，但是，由于在本发明中，死点脱离机构之旋转力的传达，在死点位置处系被解除，因此，就算是在长度相异之情况，亦不会有成为无法动作之情况。

主权项

一种搬送装置，系具备有：第1、第2旋转轴，系以相同之驱动旋转轴线为中心而可旋转地被构成；和第1、第2可动连杆，其根元部分系被固定于前述第1、第2旋转轴处，并经由前述第1、第2旋转轴而分别作旋转；和第1、第2主旋转轴线，系被配置在前述第1、第2可动连杆之前端部份；和第1、第2连动连杆，其根元部分，系以前述第1、第2主旋转轴线为中心，而被可旋转移动地安装于前述第1、第2可动连杆处；和第1、第2辅助旋转轴线，系被配置于前述第1、第2连动连杆之前端部份；和手部，系在前述第1、第2连动连杆之前端部份，以前述第1、第2辅助旋转轴线为中心，而可旋转移动地被安装；和姿势控制装置，系使前述第1、第2连动连杆之相对于连结前述第1、第2辅助旋转轴线而构成轴间距离之线的角度相互成为相等，前述手部，系被构成为经由前述姿势控制装置，而使相同之部分朝向前述第1、第2旋转轴侧来移动，从前述第1主旋转轴线起而通过前述驱动旋转轴线，并到达前述第2主旋转轴线为止之距离，和从前述第1主旋转轴线起而依序通过前述第1辅助旋转轴线与前述第2辅助旋转轴线，并到达前述第2主旋转轴线为止之距离，系被设为相等，前述驱动旋转轴线、和前述第1、第2主旋转轴线、以及前述第1、第2辅助旋转轴线，系被作平行配置，该搬送装置，并具备有：死点脱离机构，其系从前述手部为位置在前述第1、第2可动连杆间之角度与前述第1、第2连动连杆间之角度的两者均成为180°的死点之状态起，而使前述手部从前述死点之位置朝向特定方向移动，该搬送装置之特征为：前述死点脱离机构，系具备有：第1嵌合构件，系经由前述第1旋转轴又或是第2旋转轴而作旋转；和第2嵌合构件，系当前述手部位置于前述死点时，与前述第1嵌合构件相嵌合，并藉由前述第1嵌合构件之旋转力而被旋转；和传达机构，系将前述第2嵌合构件之旋转力传达至前述第2连动连杆处，并使前述第2连动连杆，在与前述第1可动连杆之旋转方向为相同之方向上作旋转，前述第1、第2嵌合构件，系在从前述死点位置而张开-16度以上+16度以下的范围内而嵌合，藉由前述第1、第2嵌合构件之嵌合的解除，前述第1嵌合构件之旋转力的对前述第2连动连杆之传达，系被解除。