LARGE SCALE PLASMA GENERATING APPARATUS FOR ADJUSTING PLASMA GENERATION REGION
摘要
<p>플라즈마의 생성영역 조절이 가능한 대면적 플라즈마 발생장치가 개시된다. 상기 플라즈마 발생장치는 플라즈마가 생성되는 진공 챔버, 기판이 안착되는 서셉터가 상기 진공 챔버 내부에 구비되고, 플라즈마의 생성영역을 제한하기 위한 플라즈마 생성영역 제한부재를 포함한다. 상기 플라즈마 생성영역 제한부재는 외부에서 위치 및 가스 여기량이 제어된다.</p>
