| 摘要 |
一种复合式遮罩及其制造方法，所述复合式遮罩包含一遮罩本体与一耐腐蚀沉积层，遮罩本体以其蚀刻孔与耐腐蚀沉积层中之耐蚀镀膜孔结合而为该复合式遮罩之镀膜区孔位，所述复合式遮罩制造方法主要系于一基材两侧以光微影手段分别形成一具有反向对应图案特性的第一光阻图案层及第二光阻图案层，再于基材具有第一光阻图案层之一侧以沉积手段形成一耐腐蚀沉积层，另通过第二光阻图案层对基材单方向蚀刻，而使基材形成具有贯穿蚀刻孔的遮罩本体，再去除第一、第二光阻图案层，以制成一包含遮罩本体与耐腐蚀沉积层之复合式遮罩，藉此创作出一结合蚀刻加工速度快与耐蚀沉积层镀膜孔的高尺寸精准度，而提供一种极具产业利用价值之复合式遮罩。 |
