沉积设备、制造有机发光显示设备的方法、以及有机发光显示设备;DEPOSITION APPARATUS, METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY APPARATUS, AND ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY APPARATUS

摘要

一种沉积设备包含：运输单元，其包含配置以第一方向运输基板可分离地固定于其上的移动单元的第一运输单元、及配置以返回方向运输与各别基板分离的无载移动单元的第二运输单元；装载单元，其配置以配对基板与基板可分离地固定于其中之各别移动单元；沉积单元，其包含与基板保持间隔预定距离且配置以沉积材料到基板上的沉积组件、以及沉积室，其中第一运输单元以扫描方法运输基板通过沉积组件；卸载单元，其配置以在沉积到基板完成之后从移动单元分离基板；以及第一移动单元储存器，其中可容纳备用移动单元。