发明名称 半导体晶圆加工用黏着带
摘要 本发明之半导体晶圆加工用黏着带系于基材片上具有黏着剂层,基材片于对厚度方向以1 mm/min压入前端形状R=5.0±0.1 mm(即R=4.9~5.1 mm)之压头而保持来自该基材片之反弹力成为50 N之位移时,自该状态起之应力缓和之时间变化中,0~5秒之反弹力之时间变化(A)为0.23~0.28 N/s,且与5~10秒之反弹力之时间变化(B)的比(B)/(A)为0.40~0.45。
申请公布号 TW201444942 申请公布日期 2014.12.01
申请号 TW103107393 申请日期 2014.03.05
申请人 古河电气工业股份有限公司 发明人 大田鄕史;矢吹朗
分类号 C09J7/02(2006.01);C09J201/00(2006.01);C09J11/06(2006.01);H01L21/301(2006.01);H01L21/683(2006.01);H01L21/67(2006.01) 主分类号 C09J7/02(2006.01)
代理机构 代理人 <name>阎启泰</name><name>林景郁</name>
主权项
地址 日本