高分子化合物、光阻材料及图案形成方法

摘要

本发明提供通式(1A)或(1B)表示之单体。;(1A) (1B);(R1表示氢原子、甲基、或三氟甲基；R2表示碳数3~15之环状的1价烃基，R3、R4表示碳数1~15之直链状、分支状或环状的1价烃基；R5表示碳数1~15之直链状、分支状或环状的1价烃基；X1、X2表示单键或碳数1~4之直链状或分支状的2价烃基；k1表示1~3之整数；Z1表示与其所键结之碳原子一起形成之碳数5~15之脂环基)。;本发明之光阻膜，不仅于知之利用硷显影形成正型图案，于有机溶剂显影之正负反转之图像形成，也具备未曝光部分之溶解性高、曝光部分之溶解性低、溶解对比度高的特征。

主权项

一种高分子化合物，其系选自于由下列式(i)至(xiii)构成之群组；