检查物的高速放电的调变器、系统及方法

摘要

一种带电粒子束系统之调变器经配置以产生提供至电感器之调变信号，该电感器接收调变信号且藉由电感来调变带电粒子束系统之电源电压信号。电源电压信号之调变改变由带电粒子束系统产生的带电粒子束之焦距。

主权项

一种调变器，该调变器包含：一电感器，该电感器具有一第一绕组及一线圈，其中一电源接线可通过由该线圈界定之一孔；一调变信号产生器，该调变信号产生器经配置以重复伴随着一影像撷取周期之一调变周期之一序列复数次，以在该调变周期内在该线圈上产生一周期调变信号并减缓该影像撷取周期前的该调变周期之一结尾的周期调变信号，被配置之该调变信号，藉由电感以调变一电源电压信号，该电源电压信号通过该电源接线，以提供一调变电源电压信号，该调变电源电压信号适用于改变一带电粒子束之一焦距。