独立控制离子束之偏移、减速与聚焦的装置以及独立控制离子束之偏移、减速与聚焦的方法

摘要

一种独立控制离子束之偏移、减速与聚焦的技术。在一特定的例示性实施例中，所述技术可实现为一独立控制离子束之偏移、减速与聚焦的装置。此装置可包括一电极结构，此电极结构包括位于离子束上方的一组上电极与位于离子束下方的一组下电极。此组上电极与此组下电极系以对称于离子束的射线轨迹而定位。此组上电极与此组下电极之间的电位差亦可随着离子束的射线轨迹而改变，藉以反映射线轨迹上每一点的离子束能量，以独立地控制离子束偏移、减速与聚焦。

主权项

一种独立控制离子束之偏移、减速与聚焦的装置，所述装置包括：一电极结构，包括配置于一离子束上方的一组上电极与配置于该离子束下方的一组下电极，其中该组上电极与该组下电极具有固定位置且不可移动，且其中该组上电极与该组下电极之间的电位差随着该离子束的一中央射线轨迹而改变，以反映沿着该中央射线轨迹上每一点的该离子束的能量，藉以独立地控制该离子束之偏移、减速与聚焦。