利用电浆布植之磁畴图案化

摘要

一种用于在基材上一磁性薄膜中定义多个磁畴之方法，包含下列步骤：将该磁性薄膜涂覆以一阻剂；图案化该阻剂，其中该磁性薄膜的多个区域系实质未被覆盖住；以及将该磁性薄膜暴露于一电浆，其中电浆离子穿透该磁性薄膜之该些实质未覆盖的区域，使得该些实质未覆盖的区域变为非磁性。一种用于此制程之工具，包含：一真空腔室，其维持在地线电位；一气体入口阀件，其系配置以将受控的气体量引入腔室；一碟盘承载装置，其系配置以(1)设置在该腔室内、(2)固持多个碟盘，使该些碟盘相隔，其中各碟盘之两侧面皆暴露出、及(3)电气接触于该些碟盘；以及一射频讯号产生器，其电气耦接到该碟盘承载装置与该腔室，藉此可以在该腔室中点燃一电浆，并且该些碟盘在两侧面上皆均匀地暴露于电浆离子。此制程可以用来制造记忆体元件，包括磁阻式随机存取记忆体元件。

主权项

一种用于在基材上一磁性薄膜中定义多个磁畴之方法，该方法包含下列步骤：将该磁性薄膜涂覆以一阻剂；图案化该阻剂，其中该磁性薄膜的多个区域系实质未被覆盖住；以及将该磁性薄膜暴露于一电浆，其中电浆离子穿透该磁性薄膜之该些实质未覆盖的区域，使得该些实质未覆盖的区域变为非磁性，其中各磁畴为一不同之磁性记忆体构件的一部分。