蒸镀遮罩、蒸镀遮罩准备体、蒸镀遮罩之制造方法、及有机半导体元件之制造方法

摘要

[课题]提供：在大型化的情形下，亦可满足高精细化及轻量化之双方，而且，可一面保持强度，一面形成高精细的蒸镀图案的蒸镀遮罩、及可简便制造该蒸镀遮罩之蒸镀遮罩之制造方法或蒸镀遮罩准备体，甚至可制造高精细的有机半导体元件之有机半导体元件之制造方法。[解决手段]积层设有复数缝隙(15)的金属遮罩(10)、及树脂遮罩(20)，在树脂遮罩(20)设有用以构成复数画面所需的开口部(25)，开口部(25)系与进行蒸镀制作的图案相对应，各缝隙(15)被设在与至少1画面全体相重叠的位置。