气浮式平面轴承之气膜刚性检测平台及其使用方法

摘要

一种气浮式平面轴承之气膜刚性检测平台包含一精密比测平台单元、一气浮载具及一供气系统，精密比测平台单元包括一精密平台、一气压缸及一千分表，将千分表抵于待测物表面进行归零，而后启动供气系统使待测物浮起，读取千分表数值得知气膜厚度，接续地，气压缸向下施压力于待测物至不浮起，读取气压缸数值得知气膜承载力，本发明统一由供气系统供应待测物浮起与检测承载力，并且可调整气压缸所施加的负载大小，而透过设定气压缸的气压系统参数，量测出待测物在不同供气条件与不同负载能力的情况下气膜刚性数值，达到快速量测的目的。

主权项

一种气浮式平面轴承之气膜刚性检测平台，包含：一精密比测平台单元，包括一用于提供平坦表面的精密平台、一设置于该精密平台上方的气压缸，及一设置于该精密平台上方且连接于该气压缸的千分表；一气浮载具，放置于该精密平台上；及一供气系统，连接该气浮载具与该精密比测平台单元的气压缸。