高压元件及其制造方法

摘要

本发明提出一种高压元件及其制造方法，高压元件形成于第一导电型基板中，该基板利用绝缘区以定义元件区，高压元件包含：漂移区，位于元件区中，其具有第二导电型杂质掺杂，且漂移区由上视图视之，分别在横向与纵向上，第二导电型杂质之浓度分布大致具有周期性的变化；位于基板表面上，元件区中之闸极；以及位于元件区中，闸极两侧之第二导电型源极、与第二导电型汲极。

主权项

一种高压元件，形成于一第一导电型基板中，该基板利用绝缘区以定义一元件区，该高压元件包含：一漂移区，位于该元件区中该基板表面下，其具有第二导电型杂质掺杂，且该漂移区由上视图视之，分别在横向与纵向上，第二导电型杂质之浓度分布大致具有周期性的变化；位于该基板表面上，元件区中之一闸极；以及位于该元件区中该基板表面下，该闸极两侧之第二导电型源极、与第二导电型汲极；其中该漂移区由上视图视之，完全位于该源极与该汲极之间，该漂移区具有：复数第一子区，且该第一子区之第二导电型杂质掺杂具有第一浓度；以及复数第二子区，与该复数第一子区在横向与纵向上，交错排列连接，且该第二子区之第二导电型杂质掺杂具有第二浓度；其中该第一浓度与第二浓度在横向与纵向上交错排列，产生该周期性的变化。