| 摘要 |
Резонаторный микроэлектронный инерциальный датчик, предпочтительно датчик микроэлектромеханической системы (МЭМС) (например, гироскоп), предназначенный для обнаружения линейных ускорений и скоростей вращения по более чем одной оси, содержит систему (21.1, ..., 21.4) пробных масс, гибко подвешенную над подложкой с возможностью совершения плоскостной поворотной вибрации относительно центральной оси (24); систему (D1, ..., D4) электродов возбуждения для возбуждения системы (21.1, ..., 21.4) пробных масс для совершения упомянутой плоскостной поворотной вибрации и систему (S1, S8) чувствительных электродов, соединенную с системой (21.1, ..., 21.4) пробных масс для обнаружения линейных ускорений или скоростей вращения по более чем одной оси. Упомянутая система (21.1, ..., 21.4) пробных масс имеет более чем два элемента пробной массы, гибко соединенных (25.1а, 25.1b) друг с другом. Каждый элемент (21.1, 21.2) пробной массы напрямую и гибко соединен (23.1, 25.1а, 25.1b) с анкерной конструкцией (22) на подложке (32). Элементы (21.1, ..., 21.4) пробной массы, предпочтительно, упорядочены в кольцеобразную конфигурацию между внутренним и внешним радиусами (R1, R2) по отношению к центральной оси (24). |
