ブロックコポリマー及び該ブロックコポリマーを用いたリソグラフィーパターニング

摘要

ブロックコポリマー、及び該ブロックコポリマーを使用して有機薄膜のパターンを作製する方法。ブロックコポリマーはフッ素化ブロックを含む。ブロックコポリマーの薄膜は整列させることができるマイクロドメインを有する。結果として、入射する深紫外線又は電子ビーム照射線のパターンよりも小さい寸法を有する有機薄膜のパターンを形成することができる。例えば、ブロックコポリマーは、リソグラフィー、ろ過及びテンプレート作成の用途に使用できる。