熱負荷に曝されるスピンドル、ステージ、または部品の受動的位置補償

摘要

本明細書において、搭載された機械的部品の熱的影響の受動的補正を提供するための装置が開示される。さらに、受動的熱的影響補正装置を使用するウェハ検査システムも開示される。