| 摘要 |
<p>本開示は、ガラスカプセル化マイクロフォンのためのシステム、方法、および装置を提供する。一態様では、ガラスカプセル化マイクロフォンは、ガラス基板と、電気機械マイクロフォンデバイスと、集積回路デバイスと、カバーガラスとを含み得る。カバーガラスは、エポキシ、または金属ボンドリングなどの接着剤を用いてガラス基板に結合され得る。カバーガラスは、いくつかの構成のいずれかを有し得る。いくつかの構成では、カバーガラスは、ガラスカプセル化マイクロフォンの縁部で電気機械マイクロフォンデバイスのための開口を画定し得る。いくつかの構成では、カバーガラスは、電気機械マイクロフォンデバイスを収容するキャビティから分離している、集積回路デバイスを収容するためのキャビティを画定し得る。</p> |
