| 摘要 |
本発明は、照明ビーム（３）を発生させるためのレーザ光源（２１）と、測定される対象物（６）の表面上の少なくとも１つの測定点（５、２３）上に照明ビーム（３）を集束させるための焦点調節光学系（４）と、対象物（６）の表面によって反射された観察ビーム（９）を検出するための検出器（１０）と、対象物（６）の表面上に集束される観察ビーム（９）のみを検出器（１０）へと通過させることを可能にする共焦点観察光学系（７）とを備える、共焦点顕微鏡法を使用する、対象物（６）の３次元測定の方法及び装置（２０）に関する。レーザ光源（２１）は、複数のコヒーレントレーザ素子（２２）を備え、これらのレーザ素子（２２）が、対象物（６）の表面上の複数の測定点（５、２３）上に集束される照明ビーム（３）を同時に放射するため、レーザ素子（２２）は、測定によって生成される３Ｄ画像データ内のスペックル効果を低減するように配置構成される。【選択図】図２ |
