发明名称 |
Optische Struktur mit daran angeordneten Stegen und Verfahren zur Herstellung derselben |
摘要 |
Es wird eine Vorrichtung mit einer optischen Struktur, Stegen und einem elektrostatischen Aktuator mit einer Auslegerelektrode beschrieben, bei der die Stege die optische Struktur mit einer tragenden Struktur verbinden und der elektrostatische Antrieb ausgebildet ist, um die optische Struktur auszulenken. |
申请公布号 |
DE102013209829(A1) |
申请公布日期 |
2014.11.27 |
申请号 |
DE201310209829 |
申请日期 |
2013.05.27 |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
WIPPERMANN, FRANK;REIMANN, ANDREAS;LANGE, NICOLAS;BRÄUER, ANDREAS |
分类号 |
G02B7/00;G02B7/04;H02N1/00 |
主分类号 |
G02B7/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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