| 发明名称 |
Optisches Bauelement |
| 摘要 |
Ein optisches Bauelement umfasst mindestens ein Mittel zur Verringerung eines strahlungsinduzierten Einflusses auf die Verlagerung eines optischen Bauteils (27). |
| 申请公布号 |
DE102013209442(A1) |
申请公布日期 |
2014.11.27 |
| 申请号 |
DE201310209442 |
申请日期 |
2013.05.22 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
STAICU, ADRIAN;EISENMENGER, JOHANNES |
| 分类号 |
G02B7/182;G02B7/198;G02B26/08;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B7/182 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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