Verfahren und Vorrichtung zur chromatisch-konfokalen Mehrpunktmessung sowie deren Verwendung

摘要

Mit der vorliegenden Erfindung sollen ein robustes, hochdynamisches Verfahren zur chromatisch-konfokalen parallelisierten Mehrpunktmessung und eine dazugehörige Vorrichtung sowie deren Verwendung bereitgestellt werden. Erfindungsgemäß wird ein chromatisch-konfokaler Sensor eingesetzt, bei dem jedem Messpunkt ein unterschiedlicher Teilbereich der gesamten spektralen Bandbreite des Messsystems zugeordnet ist. Dieses spektrale Multiplexverfahren ermöglicht es beispielsweise, das Signal von mehreren Messpunkten parallel über eine optische Faser zu übertragen und mit Hilfe einer eindimensionalen Detektorzeile auszuwerten. Die Verknüpfung der verschiedenen Teilbereiche des Spektrums mit den unterschiedlichen Messpunkten erfolgt vorzugsweise über ein spezielles optisches System, das auch als Ergänzungselement zu einem chromatisch konfokalen Punktsensor ausgeführt sein kann.