| 发明名称 |
IONIZATION VACUUM MEASURING CELL |
| 摘要 |
<p>Eine Ionisations-Vakuummesszelle umfasst eine Anode (3A) sowie eine Kathode (4K) in einer Messkammer (107). Die Messkammer (107), ein Gehäuse (101) für über eine Vakuumdicht-Durchführung (103) einen Anschlussstab (104) der Kathode (4K) nach Aussen. Die Messkammer (107) hält den Stab (104) in einer nur elektrischen isolierenden Durchführung (109). Über eine lösbare Steckverbindung (106) ist die Messkammer (107) im Gehäuse (101) austauschbar.</p> |
| 申请公布号 |
WO2014135229(A9) |
申请公布日期 |
2014.11.27 |
| 申请号 |
WO2013EP64511 |
申请日期 |
2013.07.09 |
| 申请人 |
INFICON GMBH |
发明人 |
ANDREAUS, BERNHARD;ENDERES, ROLF;WÜEST, MARTIN;UNTERMARZONER, OSKAR;STOCKER, RUDOLF |
| 分类号 |
G01L21/34;H01J41/06 |
主分类号 |
G01L21/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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