BEARBEITUNGSSYSTEM ZUR MIKRO-MATERIALBEARBEITUNG

摘要

Bearbeitungssystem (1) zur Mikro-Materialbearbeitung, aufweisend: ein Focused Ion Beam System (7) zur Bearbeitung eines Objekts (80), welches durch eine Laserbearbeitung vorpräpariert wurde; eine Präparationskammer (83), in welcher die Laserbearbeitung durchführbar ist; einen Laser (10) zur Erzeugung eines Laserstrahls (13) zur Laserbearbeitung; ein Transmissionsfenster (5) für einen Eintritt des Laserstrahls (13) in die Präparationskammer (83); einen Befestigungsflansch (4) zu einer Befestigung des Transmissionsfensters (5) relativ zur Präparationskammer (83); ein Laserstrahlgehäuse (2), in welchem ein kammeraußenseitiger Abschnitt des Laserstrahls (13) verläuft; eine Laserschutzblende (3) zu einem Blendschutz eines Übergangs des Laserstrahls (13) vom Laserstrahlgehäuse (2) in die Präparationskammer (83) in einer ersten Anordnung der Laserschutzblende (3); wobei die Laserschutzblende (3) verlagerbar gehaltert ist zu einer Verlagerung zwischen der ersten Anordnung und einer zweiten Anordnung der Laserschutzblende (3); ...