| 摘要 |
本発明の第１の態様によると、燃料小滴（７０）の流れを軌道に沿ってプラズマ形成位置に向けて誘導するように構成されたノズルと、プラズマ形成位置にある燃料小滴にレーザ放射を誘導して、使用中、放射生成プラズマを生成するように構成されたレーザと、を備えた放射源であって、レーザは、シードレーザビーム（５２）を提供するためのシードレーザ（５０）と、シードレーザからシードレーザビームを受けるためのビームスプリッタ（５４）と、ビームスプリッタからシードレーザビームを受けて光増幅を行うための光増幅器（５８）と、光増幅器の下流側に配置され、シードレーザビームを、光増幅器を通してビームスプリッタへと戻すべく誘導するように構成された第１リフレクタと（６０）、ビームスプリッタのさらに下流側に配置され、ビームスプリッタからシードレーザビームを受け、かつ、シードレーザビームの少なくとも一部分をビームスプリッタに向けて戻すべく誘導するように構成された第２リフレクタ（７０）と、を備える、放射源が提供される。【選択図】図４ |
