ギャップを有するリブを伴う電気機械システム構造体

摘要

本開示は、電気機械システム（ＥＭＳ）アセンブリのためのシステム、方法および装置を提供する。ＥＭＳアセンブリは基板、基板上に配設されたアンカ、およびアンカによって基板の上方で支えられた懸架平面物体を含む。懸架平面物体は、懸架平面物体の平面の外に延び、基板の方に突出した少なくとも１つの窪みを含む。懸架平面物体はまた、少なくとも１つの窪みのギャップに対応する実質的に水平な部分を含む。ギャップの程度は、懸架平面物体の長さの２０％が上限である。