| 发明名称 | 光刻机套片对准的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种光刻机套片对准的方法，该方法系制作并利用对准标准片来对该光刻机的对准系统进行校正；该方法包括步骤：A.选择深紫外光光刻机作为制作该对准标准片的光刻设备；B.根据产品的对准位置、避开晶圆片上的产品区域以及避开化学机械研磨的研磨区域这三个因素，确定在该对准标准片上的对准标志的坐标位置；C.制作该对准标准片，并将该对准标准片以渐进方式融入到生产中去。本发明能够减少套准偏差，建立套准偏差的基准，提高了光刻机对准的性能，提升了产品套片的偏差精度与稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN104166319A | 申请公布日期 | 2014.11.26 |
| 申请号 | CN201410462658.4 | 申请日期 | 2014.09.12 |
| 申请人 | 上海先进半导体制造股份有限公司 | 发明人 | 王诚;刘庆锋 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 徐洁晶 |
| 主权项 | 一种光刻机套片对准的方法，所述方法系制作并利用对准标准片(200)来对所述光刻机的对准系统进行校正；所述方法包括步骤：A.选择深紫外光光刻机作为制作所述对准标准片(200)的光刻设备；B.根据产品的对准位置、避开晶圆片上的产品区域以及避开化学机械研磨的研磨区域这三个因素，确定在所述对准标准片(200)上的对准标志(201)的坐标位置；以及C.制作所述对准标准片(200)，并将所述对准标准片(200)以渐进方式融入到生产中去。 | ||
| 地址 | 200233 上海市徐汇区虹漕路385号 | ||